Библиографическое описание

Электронно-стимулированное осаждение гидрогенизированного алмазоподобного углерода / Н. М. Чекан [и др.] // Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, Брест, 20–21 октября 2022 г. / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский государственный технический университет ; редкол.: С. Р. Онысько [и др.]. – Брест : БрГТУ, 2022. – С. 179–186.