Электронно-стимулированное осаждение гидрогенизированного алмазоподобного углерода / Н. М. Чекан [и др.] // Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, Брест, 20–21 октября 2022 г. / Министерство образования Республики Беларусь, ...