Библиографическое описание

Босяков, М. Н. Контроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазме / М. Н. Босяков, Д. И. Грунский, Д. В. Жук // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов : в 2 частях / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский политехнический институт, Электронно-механический факультет ; под ред. М. В. Голуба [и др.]. – Брест : БПИ, 1998. – Часть 2. – С. 257–262.