Поиск по всему репозиторию:

Показать краткое описание

dc.contributor.authorБосяков, Михаил Никифорович
dc.contributor.authorГрунский, Д. И.
dc.contributor.authorЖук, Д. В.
dc.coverage.spatialБрест
dc.date.accessioned2021-07-12T12:28:24Z
dc.date.available2021-07-12T12:28:24Z
dc.date.issued1998
dc.identifier.citationБосяков, М. Н. Контроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазме / М. Н. Босяков, Д. И. Грунский, Д. В. Жук // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов : в 2 частях / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский политехнический институт, Электронно-механический факультет ; под ред. М. В. Голуба [и др.]. – Брест : БПИ, 1998. – Часть 2. – С. 257–262.
dc.identifier.urihttps://rep.bstu.by/handle/data/20271
dc.language.isoruru
dc.publisherБПИ
dc.titleКонтроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазмеru
dc.typeНаучный доклад (Working Paper)


Файлы в этом документе

Thumbnail

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать краткое описание