| dc.contributor.author | Раткевич, Алексей Васильевич | |
| dc.contributor.author | Дереченник, Станислав Станиславович | |
| dc.coverage.spatial | Брест | |
| dc.date.accessioned | 2021-03-24T13:18:10Z | |
| dc.date.available | 2021-03-24T13:18:10Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.citation | Раткевич, А. В. Применение фрактальных методов в экспериментальных и теоретических исследованиях тонкопленочных структур / А. В. Раткевич, С. С. Дереченник // Вестник Брестского государственного технического университета. Серия: Машиностроение, автоматизация, ЭВМ. – 2003. – № 4. – С. 39–43. | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bstu.by/handle/data/12220 | |
| dc.description.abstract | Обсуждены различные аспекты изучения тонкопленочных микроэлектронных структур с точки зрения их фрактальных свойств. Определена степень пригодности для этих целей некоторых известных экспериментальных методов измерения структурных и топографических характеристик твердотельных объектов. Классифицированы способы вычисления фрактальных размерностей поверхностей, выполнена их сравнительная оценка. Проанализированы известные математические методы генерации модельных поверхностей с задаваемой фрактальной размерностью, а также физико-технологические модели формирования и модификации пленочных структур с фрактальными особенностями строения. В каждом из перечисленных аспектов (экспериментальные измерения, способы вычисления размерностей, методы моделирования фрактальных объектов) предложены перспективные направления и задачи дальнейших исследований, выполнение которых существенно облегчит решение проблем управления электрофизическими свойствами пленочных структур в современной микроэлектронике. | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | БрГТУ | |
| dc.title | Применение фрактальных методов в экспериментальных и теоретических исследованиях тонкопленочных структур | |
| dc.type | Статья (Article) | |
| dc.identifier.udc | 621.382.049.77 | |
