Напряжения в износостойких покрытиях карбонитрида циркония

Abstract

Методами рентгенографии исследована структура композиционных покрытий ZrCN:DLC, полученных на основе из инструментальной стали Х12М и твердого сплава ВК6 методами катодно-дугового осаждения циркония в среде реакционных газов азота и ацетилена. Покрытия являются сильно текстурированными с осью текстуры ⟨111⟩. По сравнению с основой из твердого сплава основа из инструментальной стали оказывает более сильное ориентирующее действие на расположение кристаллитов покрытия. Из анализа смещения положения пиков рентгеновской дифракции от угла поворота основы в плоскости дифракции (sin2 ψ метод) определены внутренние сжимающие напряжения, достигающие значений 7–10 ГПа в зависимости от материала подложки. Установлено, что твердость основы оказывает сильное влияние на уровень остаточных напряжений в исследованных покрытиях.