Рассмотрены базовые алгоритмы формирования покрытия объектов топологии. Целью работы является разработка и реализация алгоритмов, позволяющих эффективно по времени и с управляемой точностью представлять (покрывать) элементы топологии полупроводниковой пластины в виде, пригодном для экспонирования ...