Search
Browsing 2006 by Author "Рибейро, М."
Now showing items 1-1 of 1
-
Свойства легированных пленок нанокристаллического кремния, выращенных на пластиковых подложках методом газофазного химического осаждения
Филонович, С. А.; Рибейро, М.; Алпуим, П. (БрГТУ, 2006)В данной работе изложен метод легирования тонких пленок нанокристаллического кремния фосфором и бором с помощью газофазного осаждения кремния, полученного разложением силана на горячей проволоке. В качестве подложки использовались гибкие пластиковые материалы (полиэтилен нафталата и полиамид) и стекло, ...2021-03-29