Показана возможность построения и применения в микроэлектронике нового класса стохастических моделей технологических процессов, имитирующих поведение отдельных частиц материала (атомов, молекул, кластеров) при нанесении (удалении, модификации) функциональных слоев тонкопленочных элементов интегральных ...