Search
Контроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазме
| dc.contributor.author | Босяков, Михаил Никифорович | |
| dc.contributor.author | Грунский, Д. И. | |
| dc.contributor.author | Жук, Д. В. | |
| dc.coverage.spatial | Брест | |
| dc.date.accessioned | 2021-07-12T12:28:24Z | |
| dc.date.available | 2021-07-12T12:28:24Z | |
| dc.date.issued | 1998 | |
| dc.identifier.citation | Босяков, М. Н. Контроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазме / М. Н. Босяков, Д. И. Грунский, Д. В. Жук // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов : в 2 частях / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский политехнический институт, Электронно-механический факультет ; под ред. М. В. Голуба [и др.]. – Брест : БПИ, 1998. – Часть 2. – С. 257–262. | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bstu.by/handle/data/20271 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БПИ | |
| dc.title | Контроль процесса осаждения пленок a-Si:H. в силансодержащей плазме | ru |
| dc.type | Научный доклад (Working Paper) |
