Search
Применение плазмотронов постоянного тока с МЭВ в процессах осаждения алмазных пленок
View/ Open document files
Date
1998Publisher
БПИCitation
Каролинский, В. Г. Применение плазмотронов постоянного тока с МЭВ в процессах осаждения алмазных пленок / В. Г. Каролинский, М. И. Сазонов // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов : в 2 частях / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский политехнический институт, Электронно-механический факультет ; под ред. М. В. Голуба [и др.]. - Брест : БПИ, 1998. – Часть 1. – С. 213–217.Collection
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция-Некоммерчески») 4.0 Всемирная.