Поиск по всему репозиторию:

Показать краткое описание

dc.contributor.authorДереченник, Станислав Станиславович
dc.contributor.authorМороз, Олег Васильевич
dc.coverage.spatialБрест
dc.date.accessioned2021-03-25T07:58:06Z
dc.date.available2021-03-25T07:58:06Z
dc.date.issued2001
dc.identifier.citationДереченник, С. С. Стохастическое моделирование микрорельефа тонкопленочной структуры металл-кремний / С. С. Дереченник, О. В. Мороз // Вестник Брестского государственного технического университета. Серия: Машиностроение, автоматизация, ЭВМ. – 2001. – № 4. – С. 68–72.
dc.identifier.urihttps://rep.bstu.by/handle/data/12247
dc.description.abstractПоказана возможность построения и применения в микроэлектронике нового класса стохастических моделей технологических процессов, имитирующих поведение отдельных частиц материала (атомов, молекул, кластеров) при нанесении (удалении, модификации) функциональных слоев тонкопленочных элементов интегральных схем. Разработаны основные положения, позволяющие описывать стохастический поток частиц материала при распылении мишени, а также условия, определяющие поведение частиц при попадании их на подложку. Разработана прикладная моделирующая программа, с помощью которой проведены вычислительные эксперименты. Полученные результаты позволили обнаружить, что формирующаяся металлическая пленка имеет нерегулярный и зависящий от ее толщины микрорельеф. Морфология образующейся микроструктуры описана с точки зрения фрактальных представлений. Адекватность модели подтверждена сопоставлением расчетных результатов с фотографиями реальной микроструктуры.
dc.language.isoru
dc.publisherБрГТУ
dc.titleСтохастическое моделирование микрорельефа тонкопленочной структуры металл-кремний
dc.typeСтатья (Article)
dc.identifier.udc621.382.049.77


Файлы в этом документе

Thumbnail

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать краткое описание