Филонович, С. А.; Рибейро, М.; Алпуим, П. (БрГТУ, 2006)
В данной работе изложен метод легирования тонких пленок нанокристаллического кремния фосфором и бором с помощью газофазного осаждения кремния, полученного разложением силана на горячей проволоке. В качестве подложки использовались гибкие пластиковые материалы (полиэтилен нафталата и полиамид) и стекло, ...
2021-03-29