Search
Применение плазмотронов постоянного тока с МЭВ в процессах осаждения алмазных пленок
| dc.contributor.author | Каролинский, Владимир Григорьевич | |
| dc.contributor.author | Сазонов, Михаил Иванович | |
| dc.coverage.spatial | Брест | |
| dc.date.accessioned | 2021-07-02T11:56:19Z | |
| dc.date.available | 2021-07-02T11:56:19Z | |
| dc.date.issued | 1998 | |
| dc.identifier.citation | Каролинский, В. Г. Применение плазмотронов постоянного тока с МЭВ в процессах осаждения алмазных пленок / В. Г. Каролинский, М. И. Сазонов // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов : в 2 частях / Министерство образования Республики Беларусь, Брестский политехнический институт, Электронно-механический факультет ; под ред. М. В. Голуба [и др.]. - Брест : БПИ, 1998. – Часть 1. – С. 213–217. | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bstu.by/handle/data/19820 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БПИ | |
| dc.title | Применение плазмотронов постоянного тока с МЭВ в процессах осаждения алмазных пленок | ru |
| dc.type | Статья (Article) |
