В данной работе изложен метод легирования тонких пленок нанокристаллического кремния фосфором и бором с помощью газофазного осаждения кремния, полученного разложением силана на горячей проволоке. В качестве подложки использовались гибкие пластиковые материалы (полиэтилен нафталата и полиамид) и стекло, ...