Аваков, С. М. Программная реализация алгоритмов предобработки, анализа и автофокусировки для установок контроля критических размеров / С. М. Аваков, А. А. Воронов, А. И. Дедков // Современные проблемы математики и вычислительной техники : сборник материалов Х Республиканской научной конференции молодых ...