Многокомпонентные покрытия TiN/Cu, сформированные методом магнетронного распыления / А. В. Белый [и др.] // Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, Брест, 16–17 ноября 2023 года / Министерство образования Республики Беларусь, ...